高级检索
检索提示：高级检索多个条件检索时是按照顺序运算的：如 A或B与C 即:(A或B)与C
[期刊论文]
应用双电场减小阳极键合过程中MEMS器件可动部件的损伤
作者：
收录：
摘要：
提出了采用双电场对硅/玻璃进行阳极键合的方法.采用这种方法,能够有效地避免和减少键合过程中的静电力对MEMS器件的可动敏感部件的损伤和破坏,同时实验结果也验证了该方法.
关键词：
作者机构：
通讯作者信息：
电子邮件地址：
相关关键词：
相关文章：
2004，半导体学报
2006，仪器仪表学报
2004，半导体光电
2004，光电子·激光
来源 ：
半导体学报
ISSN： 0253-4177
年份： 2004
期： 10
卷： 25
页码： 1249-1252
被引次数：
WoS核心集被引频次： 0
SCOPUS被引频次：
ESI高被引论文在榜： 0 展开所有
万方被引频次： 8
中文被引频次：
近30日浏览量： 2
归属院系：
信息学部
全文获取
外部链接：
