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用CH4,H2和NH3作为反应气体,利用等离子体增强热丝化学汽相沉积制备出准直碳纳米管,并用扫描电子显微镜研究了不同负偏压对准直碳纳米管生长的影响.结果表明,随着负偏压的增大,准直碳纳米管的平均直径减小、平均长度增大.由于辉光放电的产生,在衬底表面附近形成阴极鞘层,并在阴极鞘层内形成大量的离子和在衬底表面附近形成很强的电场.离子在电场的作用下对衬底表面的强烈轰击将对准直碳纳米管的生长产生影响.结合有关理论,分析和讨论了离子的轰击对准直碳纳米管生长的影响.
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