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宇慧平 (宇慧平.) | 隋允康 (隋允康.) | 张峰翊 (张峰翊.) | 王学锋 (王学锋.)

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摘要:

本文给出了提拉单晶硅时,勾形磁场强度的计算公式,并对单晶硅在有无勾形磁场情况下熔体内流场和氧的浓度分布进行了数值模拟,计算出磁场作用下磁场强度和洛伦兹力及有无磁场时流函数、垂直截面处的速度场和氧的浓度分布.通过分析表明,勾形磁场能使流动更为平稳,能有效地降低熔体内及生长界面氧的浓度,并对产生这一现象的机理作了理论分析.

关键词:

勾形磁场 单晶硅 提拉法

作者机构:

  • [ 1 ] [宇慧平]北京工业大学
  • [ 2 ] [隋允康]北京工业大学
  • [ 3 ] [张峰翊]北京有色金属研究总院
  • [ 4 ] [王学锋]北京有色金属研究总院

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来源 :

人工晶体学报

ISSN: 1000-985X

年份: 2004

期: 2

卷: 33

页码: 217-222

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