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[期刊论文]
激光表面形貌纳米测量的研究
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测量设备由光路单元、数字鉴相单元、A/D变换单元、测量平台、PC机及相应的软件组成.利用激光的Raman-Nath衍射和光干涉的原理,该设备通过光探针得到测量和参考正弦波的相位差;PC机计算与该相位差成线性关系的工件表面的起伏变化量,通过测量平台完成表面形貌的钠米测量.该设备的实际测量精度为3nm.
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来源 ：
云南大学学报(自然科学版)
年份： 2005
期： S1
页码： 216-219
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