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新型微波ECR-PECVD装置的研制
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介绍一台新型的ECR-PECVD装置.这一装置设计和采用了一种由单个电磁线圈和永磁体单元组合的新型磁场,使整个装置结构明显简化.为提高装置的微波转换效率,通过计算机仿真微波场在等离子体室的分布,选择和采用了一种新型的矩形耦合波导.应用这一装置分解H2稀释的SiH4气体以沉积a-Si:H薄膜,获得了2 nm/s以上的高沉积速率.
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来源 ：
真空科学与技术学报
ISSN： 1672-7126
年份： 2004
期： 1
卷： 24
页码： 33-36
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