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MEMS技术用于红外器件制作
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MEMS技术是一项新兴的微细加工技术,已开始在各领域有了广泛应用.它可将信息获取、处理和执行等功能集成为一体化的微电子机械系统(MEMS)或微光电子机械系统(MOEMS),具有微小、智能、可执行、可集成、工艺兼容性好、成本低等特点,因此也开始被红外技术领域所采用,为该领域研究提供了一条新途径.文中简要介绍了MEMS技术的主要特点和工艺,并对MEMS技术在红外器件研制方面的应用作了详细叙述.
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来源 ：
激光与红外
ISSN： 1001-5078
年份： 2003
期： 3
卷： 33
页码： 212-214
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