高级检索
检索提示：高级检索多个条件检索时是按照顺序运算的：如 A或B与C 即:(A或B)与C
[期刊论文]
新型非制冷高速高灵敏度红外探测器的研制
作者：
收录：
摘要：
介绍了一种新型非制冷高速高灵敏度硅基电容式红外探测器的工作原理,描述了探测器的设计思想及制作工艺.该探测器采用密封于微气腔的特殊气体吸收红外辐射以改变探测器微电容的原理来进行红外探测,制作工艺采用微机械加工技术.对样品的测试表明这种红外探测器能探测红外信号.
关键词：
作者机构：
通讯作者信息：
电子邮件地址：
相关关键词：
相关文章：
2004，光电工程
2003，仪器仪表学报
2003，首届信息的获取与处理学术会议
2003，红外与激光工程
来源 ：
红外与激光工程
ISSN： 1007-2276
年份： 2003
期： 5
卷： 32
页码： 452-455
被引次数：
WoS核心集被引频次： 0
SCOPUS被引频次：
ESI高被引论文在榜： 0 展开所有
万方被引频次： 9
中文被引频次：
近30日浏览量： 1
归属院系：
信息学部
全文获取
外部链接：
