高级检索
检索提示：高级检索多个条件检索时是按照顺序运算的：如 A或B与C 即:(A或B)与C
[期刊论文]
AlxGa1-xAs选择性湿法氧化技术的研究
作者：
收录：
摘要：
详细研究了温度和Al组分与AlxGa1-xAs横向氧化速率的关系,通过分析氧化机制和实验得到的氧化宽度与时间的线性关系,指出在较短时间内的氧化为受AlxGa1-xAs材料与水汽反应速率限制的过程.运用优化的氧化条件,成功制备了氧化孔径为8 μm的垂直腔面发射激光器,最大直流光输出功率为3.2 mW,激射波长为978 nm,工作电流为15 mA.
关键词：
作者机构：
通讯作者信息：
电子邮件地址：
相关关键词：
相关文章：
2018，发光学报
2018，中国光学
2019，半导体光电
2010，物理学报
来源 ：
红外与激光工程
ISSN： 1007-2276
年份： 2003
期： 6
卷： 32
页码： 647-650
被引次数：
WoS核心集被引频次： 148
SCOPUS被引频次：
ESI高被引论文在榜： 0 展开所有
万方被引频次： 13
中文被引频次：
近30日浏览量： 6
归属院系：
信息学部
全文获取
外部链接：
