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程序 (程序.) | 吴郁 (吴郁.) | 刘兴明 (刘兴明.) | 王哲 (王哲.) | 亢宝位 (亢宝位.) | 李俊峰 (李俊峰.) | 韩郑生 (韩郑生.)

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摘要:

提出了一种低功率损耗的新结构IGBT.该新结构的创新点在于其复合耐压层结构,该耐压层包括深扩散形成的n型缓冲层和硼注入形成的透明背发射区两部分.虽然在正常工作条件下,该新结构IGBT工作于穿通状态,但器件仍具有非穿通IGBT(NPT-IGBT)的优良特性.该新结构IGBT具有比NPT-IGBT更薄的芯片厚度,从而可以获得更好的通态压降和关断功耗之间的折衷.实验结果表明:与NPT-IGBT相比较,新结构IGBT的功率损耗降低了40%.

关键词:

NPT-IGBT 深穿通 缓冲层 透明发射区

作者机构:

  • [ 1 ] [程序]北京工业大学
  • [ 2 ] [吴郁]北京工业大学
  • [ 3 ] [刘兴明]北京工业大学
  • [ 4 ] [王哲]北京工业大学
  • [ 5 ] [亢宝位]北京工业大学
  • [ 6 ] [李俊峰]中国科学院微电子研究所
  • [ 7 ] [韩郑生]中国科学院微电子研究所

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来源 :

半导体学报

ISSN: 0253-4177

年份: 2003

期: 6

卷: 24

页码: 586-591

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