• 综合
  • 标题
  • 关键词
  • 摘要
  • 学者
  • 期刊-刊名
  • 期刊-ISSN
  • 会议名称
搜索

作者:

黄军容 (黄军容.) | 彭良强 (彭良强.) | 伊福廷 (伊福廷.) | 蒋毅坚 (蒋毅坚.) (学者:蒋毅坚) | 张菊芳 (张菊芳.) | 韩勇 (韩勇.)

收录:

CQVIP

摘要:

BSRF中的3B1光束线与LIGA实验站过去使用的3W1光束线相比,其同步辐射X光光谱较软、光强较弱,但可实现专用光和兼用光两用.现在LIGA实验站移到3B1光束线,为此必须进行新的LIGA掩模设计、制作.结合此研究目的,本文通过使用XOP和Origin两个软件进行设计、计算,分别得到了专用和兼用时3B1光束线在传输过程中的各级能谱图和传输、吸收数据,并针对这两种不同的用光情况分别设计、研究了两种不同组合的掩模:Au-PI组合和Au-Si组合.

关键词:

LIGA X射线 掩模

作者机构:

  • [ 1 ] [黄军容]中国科学院高能物理研究所
  • [ 2 ] [彭良强]中国科学院高能物理研究所
  • [ 3 ] [伊福廷]中国科学院高能物理研究所
  • [ 4 ] [蒋毅坚]北京工业大学
  • [ 5 ] [张菊芳]中国科学院高能物理研究所
  • [ 6 ] [韩勇]中国科学院高能物理研究所

通讯作者信息:

电子邮件地址:

查看成果更多字段

相关关键词:

来源 :

微纳电子技术

ISSN: 1671-4776

年份: 2003

期: 7

卷: 40

页码: 147-150

被引次数:

WoS核心集被引频次: 0

SCOPUS被引频次:

ESI高被引论文在榜: 0 展开所有

万方被引频次: -1

中文被引频次:

近30日浏览量: 0

在线人数/总访问数:384/3895208
地址:北京工业大学图书馆(北京市朝阳区平乐园100号 邮编:100124) 联系我们:010-67392185
版权所有:北京工业大学图书馆 站点建设与维护:北京爱琴海乐之技术有限公司