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有机硅酸酯薄膜SO2气体传感器
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采用溶胶-凝胶法和自旋涂覆技术在二氧化硅为基材的梳状电极电容器(IDC)上形成有机硅酸酯的气敏涂层.在室温和0.1 kHz、1 kHz、10 kHz频率下测定了该电容器的电容,实验表明其电容的改变值和气氛中二氧化硫(SO2)浓度的变化呈线性关系,亦与测量时使用的频率和气敏涂层的厚度密切相关.在本实验条件下,经有机改性的N,N-二乙基氨丙基三甲氧基硅烷比同类的硅酸酯对SO2有更高的灵敏度.
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来源 ：
化工学报
ISSN： 0438-1157
年份： 2003
期： 1
卷： 54
页码： 91-94
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