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作者:

林志浪 (林志浪.) | 郑新和 (郑新和.) | 王群 (王群.) (学者:王群) | 周美玲 (周美玲.)

收录:

PKU CSCD

摘要:

高纯度的氮气中,以Al-Mg-Y合金为母合金,利用Lanxide技术合成了含烧结助剂Y2O3的复合AlN粉体.通过扫描电镜、X射线衍射、粒径分析及化学成分分析等检测手段对氮化产物进行表征.实验结果表明,合金氮化反应完全,氮化产物疏松易于粉化.粉化后获得的复合AlN粉体具有纯度高,氧杂质含量低,粒度细小等优点.

关键词:

Lanxide技术 铝合金 烧结助剂 AlN粉体

作者机构:

  • [ 1 ] [林志浪]中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • [ 2 ] [郑新和]中国科学院半导体研究所
  • [ 3 ] [王群]北京工业大学
  • [ 4 ] [周美玲]北京工业大学

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来源 :

无机材料学报

ISSN: 1000-324X

年份: 2003

期: 6

卷: 18

页码: 1351-1356

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