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TiNi合金薄膜的脉冲激光沉积制备与应用
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概述了三种TiNi合金薄膜的制备方法,其中重点阐述了脉冲激光沉积法,并详细介绍了TiNi合金薄膜作为微驱动元件在微流体控制系统和微操作系统中的应用。随着薄膜制备工艺和性能研究的发展,TiNi合金薄膜将在复合智能材料与结构、MEMS驱动和传感元件的设计与制造等方面具有更广阔的应用前景。
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来源 ：
微细加工技术
年份： 2005
期： 03
页码： 1-8
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材料与制造学部 激光工程研究院
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