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针对激光加工大功率激光功率密度分布测量的要求,采用空心探针扫描采样测量法,提出并建立了被测激光经探针小孔、探针内通道传输的数学物理模型,经计算,给出了包括探针微孔孔径、探针内通道尺寸、系统采样点数等系统参数,设计了新的测量系统,实现了对大功率激光光束、聚焦光斑功率密度分布的直接测量,测量结果与理论计算相吻合.测量仪能对CO2激光和YAG激光进行直接测量,测量的功率大于10 kW,功率密度大于107 W/cm2,测量激光光束的最大直径为60 mm,激光聚焦光斑的直径小于0.5 mm.
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