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激光光束直接测量模型
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针对空心探针方法,对探针微孔孔径、测量点数对测量精度的影响进行了分析,建立了光束直接测量的模型,并进行了计算. 当被测光束与探针微孔孔径比为1%时,相对误差小于2%;每条扫描线的测量点数为30时,误差小于0.2%,得到了满足测量精度要求的微孔的孔径、测量点数,实现了对大功率激光功率分布的有效检测. 此结果适于光束直接测量的应用.
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来源 :
北京工业大学学报
ISSN: 0254-0037
年份: 2002
期: 1
卷: 28
页码: 77-79
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