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利用LIGA技术制作过滤介质
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LIGA技术具有加工精度高,深宽比大,表面平整,应用领域广等优点,是一种先进的微细加工方法.将LIGA技术的这些优点充分用于过滤介质的制作中,能改善过滤介质的力学强度、机械性能、流阻大小、可再生性等过滤性能.实验中,通过选用不同的材料、适当调整工艺步骤、以及结合微细电火花加工方法等,分别制作出了胶结构、镍结构、不锈钢、以及金结构等多组材料不同、过滤孔隙形状、大小各异的过滤介质,能满足多种不同过滤场合的需求.
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来源 ：
过滤与分离
ISSN： 1005-8265
年份： 2002
期： 4
卷： 12
页码： 11-13
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