高级检索
检索提示：高级检索多个条件检索时是按照顺序运算的：如 A或B与C 即:(A或B)与C
[期刊论文]
一种微型电磁继电器的制作和仿真
作者：
收录：
摘要：
介绍一种基于MEMS技术的微型电磁继电器的制造工艺和仿真过程.这种微继电器主要由平面方形线圈、固定电极和活动电极构成,依靠线圈的激励电流来控制其开关动作.微继电器的大小约是4mm×4mm×0.5mm,工艺比较简单,主要采用光刻、蒸镀、电镀和腐蚀牺牲层等普通的微加工技术来完成.另外,还进行了有关激励线圈对活动电极所产生电磁力的理论计算和仿真,以便从这些结果中得到活动电极和线圈之间的优化数据.
关键词：
作者机构：
通讯作者信息：
电子邮件地址：
相关关键词：
相关文章：
2002，半导体学报
2007，光散射学报
2004，7th International Conference on Solid-State and Integrated Circuits Technology
来源 ：
微细加工技术
ISSN： 1003-8213
年份： 2002
期： 3
页码： 60-64
被引次数：
WoS核心集被引频次： 0
SCOPUS被引频次：
ESI高被引论文在榜： 0 展开所有
万方被引频次： 8
中文被引频次：
近30日浏览量： 2
归属院系：
材料与制造学部 本学院/部未明确归属的数据
全文获取
外部链接：
