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摘要:

报道了通过隧道结将衬底的导电类型从n型转变到p型,从而可以利用n型GaP作为以n型GaAs为衬底的AlGaInP发光二极管的电流扩展层.n型电流扩展层的电阻率低于p型电流扩展层的电阻率,这种结构改善了电流扩展层的作用,从而提高了发光二极管的光提取效率.对3μm GaP电流扩展层的发光二极管,实验结果表明,隧道结发光二极管的发光功率与具有相同基本结构的传统发光二极管相比,20mA时发光功率提高了50%,100mA时提高了66.7%.

关键词:

AlGaInP MOCVD 隧道结 高亮度发光二极管

作者机构:

  • [ 1 ] [王国宏]北京工业大学
  • [ 2 ] [沈光地]北京工业大学
  • [ 3 ] [郭霞]北京工业大学
  • [ 4 ] [高国]北京工业大学
  • [ 5 ] [韦欣]中国科学院半导体研究所
  • [ 6 ] [张广泽]中国科学院半导体研究所
  • [ 7 ] [马骁宇]中国科学院半导体研究所
  • [ 8 ] [李玉璋]中国科学院半导体研究所
  • [ 9 ] [陈良惠]中国科学院半导体研究所

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来源 :

半导体学报

ISSN: 0253-4177

年份: 2002

期: 6

卷: 23

页码: 628-631

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