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[期刊论文]
准分子激光微加工用Schwarzchild物镜设计
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设计了一种用于248nmKrF准分子激光投影刻蚀加工的反射式物镜。它不仅因无色差具有与可见光同轴观察对准的特性，还满足了激光微加工对物镜大倍率大工作距离的要求。
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来源 ：
应用激光
ISSN： 1000-372X
年份： 2001
期： 1
卷： 21
页码： 13-15
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