高级检索
检索提示：高级检索多个条件检索时是按照顺序运算的：如 A或B与C 即:(A或B)与C
[期刊论文]
准分子激光投影直刻微加工制作微机械
作者：
收录：
摘要：
简要描述了新开发的准分子激光微加工装备的结构特点. 系统地研究了准分子激光直刻高分子聚合物的机制及其与微结构制作精度的关系. 并以PVC微结构原型及其复制件的制作为例，讨论了准分子激光投影直刻用于LIGA工艺的可行性. 研究表明准分子激光投影直刻微加工技术可用于制作微机械.
关键词：
作者机构：
通讯作者信息：
电子邮件地址：
相关关键词：
相关文章：
2001，中国科学E辑:技术科学
2002，核技术
2002，过滤与分离
2001，应用激光
来源 ：
中国科学E辑
ISSN： 1006-9275
年份： 2001
期： 1
卷： 31
页码： 13-18
被引次数：
WoS核心集被引频次： 0
SCOPUS被引频次：
ESI高被引论文在榜： 0 展开所有
万方被引频次： 26
中文被引频次：
近30日浏览量： 4
归属院系：
全文获取
外部链接：
