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隧道带间耦合级联激光器采用C掺杂生长隧道结,由于高浓度C掺杂层在激光器多个有源区之间分布形成了高电导层,增加了注入电流的横向扩展,使激光器的性能不能充分发挥出来.我们利用双面电极新型结构可以很好地克服横向电流扩展,使级联的激光器保证充分的光输出功率.具体是在常规激光器背面衬底做完全与正面电极相同而对中的电极.当加入电场后,使电场完全集中在这两个相对中的电极之间,使激光器注入的电流从正面电极完全不扩展地流入到背面衬底电极,保证每个有源区都注入相同的电流而保证每个有源区充分的光输出.对4个有源区级联的激光器光输出功率较常规电极提高70 %以上,输出光功率从1.6 W提高到2.4 W,斜率效率提高70 %以上.
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