超硬材料主要由Ⅲ,Ⅳ,V族共价键化合物(碳化物、氮化物)和单质(金刚石)组成,硬度高于40GPa,有单晶、多晶、非晶等多种.除金刚石外,这些材料都是人工合成的,没有天然对应物.除超硬性质以外,这些材料大都具有宽带隙、高温稳定性、化学惰性等优良的物理化学性质.新型超硬薄膜材料研究从金刚石开始,目前主要的研究对象有金刚石、类金刚石碳(DLC)、立方氮化硼(cBN)、氮化碳(C3N4,CNx)、硼碳氮(BCN)等,是近二十年来材料研究的热门方向之一.文章结合作者近年来的工作,介绍这几种超硬薄膜的研究进展和展望.