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[期刊论文]
柔性铰链放大器的设计与加工技术
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为弥补压电陶瓷微位移器件伸长量过小的缺陷,设计了一种结构紧凑、无传动间隙、无附加位移耦合的柔性铰链微位移放大器,以满足大行程纳米定位的需要. 详细讨论了柔性铰链放大器的工作原理、设计方法和加工技术关键.
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来源 ：
北京工业大学学报
ISSN： 0254-0037
年份： 2001
期： 2
卷： 27
页码： 161-163
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