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刘德忠 (刘德忠.) | 许意华 (许意华.) | 费仁元 (费仁元.) | 宇惠平 (宇惠平.) | 王波 (王波.) (学者:王波)

收录:

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摘要:

为弥补压电陶瓷微位移器件伸长量过小的缺陷,设计了一种结构紧凑、无传动间隙、无附加位移耦合的柔性铰链微位移放大器,以满足大行程纳米定位的需要. 详细讨论了柔性铰链放大器的工作原理、设计方法和加工技术关键.

关键词:

压电微位移器件 柔性铰链 线切割 钠米定位

作者机构:

  • [ 1 ] [刘德忠]北京工业大学
  • [ 2 ] [许意华]北京工业大学
  • [ 3 ] [费仁元]北京工业大学
  • [ 4 ] [宇惠平]北京工业大学
  • [ 5 ] [王波]北京工业大学

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来源 :

北京工业大学学报

ISSN: 0254-0037

年份: 2001

期: 2

卷: 27

页码: 161-163

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