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低功耗IGBT(LPL-IGBT)及其仿真
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提出了一种新结构的IGBT,取名为低功耗IGBT(LPL-IGBT),它具有离子注入形成的超薄且轻掺杂的背P型发射区,从而具有NPT-IGBT的优点;同时具有由衬底预扩散残留层构成的n型缓冲层,又具有PT-IGBT的优点.计算机仿真结果证明,它的关断损耗比PT-IGBT和NPT-IGBT降低一倍左右.它的结构比FSIGBT更适合于实际生产.
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来源 ：
半导体学报
ISSN： 0253-4177
年份： 2001
期： 12
卷： 22
页码： 1565-1571
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