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廉鹏 (廉鹏.) | 马骁宇 (马骁宇.) | 张广泽 (张广泽.) | 陈良惠 (陈良惠.)

收录:

PKU CSCD

摘要:

采用测量反射谱方法确定了低压金属有机化合物气相外延生长的与GaAs衬底匹配(AlxGa1-x)0.51In0.49P外延材料的折射率.实验中测量的反射谱波长范围为0.5—2.5μm.在拟合实验数据过程中采用了单振子模型.折射率数据用于分析应变量子阱GaInP/AlGaInP可见光激光二极管波导,计算出的器件远场图与实验数据吻合很好.

关键词:

AlGaInP 折射率 测量 金属有机化合物气相外延

作者机构:

  • [ 1 ] [廉鹏]北京工业大学
  • [ 2 ] [马骁宇]中国科学院半导体研究所
  • [ 3 ] [张广泽]中国科学院半导体研究所
  • [ 4 ] [陈良惠]中国科学院半导体研究所

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来源 :

半导体学报

ISSN: 0253-4177

年份: 2001

期: 4

卷: 22

页码: 398-401

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