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低压金属有机化合物气相外延生长的(AlxGa1-x)0.51In0.49P折射率测量
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采用测量反射谱方法确定了低压金属有机化合物气相外延生长的与GaAs衬底匹配(AlxGa1-x)0.51In0.49P外延材料的折射率.实验中测量的反射谱波长范围为0.5—2.5μm.在拟合实验数据过程中采用了单振子模型.折射率数据用于分析应变量子阱GaInP/AlGaInP可见光激光二极管波导,计算出的器件远场图与实验数据吻合很好.
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来源 :
半导体学报
ISSN: 0253-4177
年份: 2001
期: 4
卷: 22
页码: 398-401
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