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BC2N薄膜的柱状生长及生长机理
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应用热丝辅助等离子体化学气相沉积法(CVD)合成了表面呈柱状的BC2N薄膜,X射线、红外及X射线电子能谱分析表明,薄膜的化学组分主要为BC2N,B,C和N原子间互相结合成键.扫描电镜观察到,薄膜表面形貌呈排列整齐、取向一致的柱体,并且发现这种生长方式与沉积参数密切相关.最后从结合能方面讨论了柱状BC2N的生长机理.
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来源 ：
物理学报
ISSN： 1000-3290
年份： 2001
期： 10
卷： 50
页码： 2023-2027
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JCR@2022
ESI学科： PHYSICS;
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