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[期刊论文]
ECR-CVD法制备BN薄膜
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cBN薄膜的CVD制备是一个很受关注的课题.本文研究了ECR-CVD系统的等离子体特性,并在Si(100)衬底上进行了BN薄膜的生长实验,初步获得了cBN含量约为23.8%的BN薄膜;分析了H2在CVD生长cBN中的影响.
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来源 ：
材料科学与工程
ISSN： 1673-2812
年份： 2000
期： z2
卷： 18
页码： 633-636
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