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程序 (程序.) | 吴郁 (吴郁.) | 刘兴明 (刘兴明.) | 王哲 (王哲.) | 亢宝位 (亢宝位.) | 李俊峰 (李俊峰.) | 韩郑生 (韩郑生.)

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PKU CSCD

摘要:

提出了一种低功率损耗的新结构 IGBT.该新结构的创新点在于其复合耐压层结构 ,该耐压层包括深扩散形成的 n型缓冲层和硼注入形成的透明背发射区两部分 .虽然在正常工作条件下 ,该新结构 IGBT工作于穿通状态 ,但器件仍具有非穿通 IGBT( NPT- IGBT)的优良特性 .该新结构 IGBT具有比 NPT- IGBT更薄的芯片厚度 ,从而可以获得更好的通态压降和关断功耗之间的折衷 .实验结果表明 :与 NPT- IGBT相比较 ,新结构 IGBT的功率损耗降低了 40

关键词:

NPT-IGBT 深穿通 缓冲层 透明发射区

作者机构:

  • [ 1 ] 北京工业大学电子工程系
  • [ 2 ] 中国科学院微电子中心
  • [ 3 ] 中国科学院微电子中心 北京100022
  • [ 4 ] 北京100022
  • [ 5 ] 北京100029

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来源 :

半导体学报

年份: 2003

期: 06

页码: 586-591

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