高级检索
检索提示：高级检索多个条件检索时是按照顺序运算的：如 A或B与C 即:(A或B)与C
[期刊论文]
多重空心阴极溅射靶及其应用
作者：
收录：
摘要：
研制了一种由多个空心阴极并列组合而成的可直接作为溅射靶的多重空心阴极溅射靶.其溅射输出量可用靶电压、气压及空心阴极的高度和宽度的比值控制.将多重空心阴极溅射靶应用于双辉离子金属渗镀试验.结果表明,这种方法可以加速金属渗镀层的形成.在靶电流密度较大的条件下,可以形成合金扩散层和纯金属沉积层的复合层组织.
关键词：
作者机构：
通讯作者信息：
电子邮件地址：
相关关键词：
相关文章：
2015，激光与红外
2013，华侨大学学报(自然科学版)
2001，第四届中国功能材料及其应用学术会议
2005，武汉化工学院学报
来源 ：
金属热处理
ISSN： 0254-6051
年份： 2000
期： 5
页码： 17-19
被引次数：
WoS核心集被引频次： 0
SCOPUS被引频次：
ESI高被引论文在榜： 0 展开所有
万方被引频次： 20
中文被引频次：
近30日浏览量： 2
归属院系：
全文获取
外部链接：
