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[期刊论文]
SiGe/Si异质结构的x射线双晶衍射
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通过x射线双晶衍射图形讨论了SiGe/Si HBT的电学特性与晶格结构的关系.
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来源 ：
半导体技术
ISSN： 1003-353X
年份： 2000
期： 1
卷： 25
页码： 36-38
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