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杨宁 (杨宁.) | 陈光华 (陈光华.) | 张阳 (张阳.) | 公维宾 (公维宾.) | 朱鹤孙 (朱鹤孙.)

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摘要:

用Monte Carlo方法模拟了薄膜的二维生长.引入Morse作用势描述粒子间的相互作用情况,研究了相互作用范围α对薄膜生长初期形貌的影响.薄膜的生长经历了由临界核的形成、团的长大、形成迷津结构到连续成膜4个阶段.模拟结果表明,随着沉积粒子数的增加,成团粒子所占百分比下降.这与实际情况相符.

关键词:

Monte Carlo方法 Morse势 薄膜生长

作者机构:

  • [ 1 ] [杨宁]北京工业大学
  • [ 2 ] [陈光华]北京工业大学
  • [ 3 ] [张阳]北京理工大学
  • [ 4 ] [公维宾]北京工业大学
  • [ 5 ] [朱鹤孙]北京理工大学

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来源 :

物理学报

ISSN: 1000-3290

年份: 2000

期: 11

卷: 49

页码: 2225-2229

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JCR@2022

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