高级检索
检索提示：高级检索多个条件检索时是按照顺序运算的：如 A或B与C 即:(A或B)与C
[期刊论文]
两级复眼式准分子激光微加工均束器的设计
作者：
收录：
摘要：
介绍了一种两级复眼式均束器的设计.它不仅均匀效果好,传输效率高,输出光束截面尺寸连续可调,而且为掩模投影式准分子激光微加工系统提供了恰当的照明数值孔径,是准分子激光进行微机械、微光学、微电子等微细加工的优良照明系统.
关键词：
作者机构：
通讯作者信息：
电子邮件地址：
相关关键词：
相关文章：
2001，激光与光电子学进展
2002，
2001，应用激光
2001，中国科学E辑:技术科学
来源 ：
中国激光
ISSN： 0258-7025
年份： 1999
期： 6
卷： 26
页码： 560-564
被引次数：
WoS核心集被引频次： 0
SCOPUS被引频次：
ESI高被引论文在榜： 0 展开所有
万方被引频次： 47
中文被引频次：
近30日浏览量： 5
归属院系：
材料与制造学部 本学院/部未明确归属的数据
全文获取
外部链接：
