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PKU

关键词:

SIGE/SIHBT 低温特性 杂质外扩

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  • [ 1 ] [邹德恕]北京工业大学电子工程系%中科院物理研究所
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来源 :

半导体技术

ISSN: 1003-353X

年份: 1998

页码: 10-13

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