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电子束蒸发二氧化硅薄膜在SI/SI_(1-X)GE_X HBT中的应用研究

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邹德恕 (邹德恕.) | 陈建新 (陈建新.) | 沈光地 (沈光地.) | Unfold

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CQVIP PKU

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折射率 应变层 SI/SI1-XGEX 电子束 能带工程 异质结

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  • [ 1 ] [邹德恕]北京工业大学
  • [ 2 ] [陈建新]北京工业大学
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  • [ 4 ] [张时明]北京工业大学
  • [ 5 ] [邓军]北京工业大学

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Source :

半导体技术

ISSN: 1003-353X

Year: 1996

Page: 42-43,55

Cited Count:

WoS CC Cited Count: 0

30 Days PV: 2

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Online/Total:370/5801581
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