[期刊论文]
用LI_2B_4O_7晶体为基片的光刻腐蚀研究
作者：
周亚栋
(周亚栋.)
|
何先莉
(何先莉.)
关键词：
LI_2B_4O_7晶体
光刻
声表面波
作者机构：
-
[ 1 ]
[周亚栋]北京工业大学
-
[ 2 ]
[何先莉]北京工业大学
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来源
：
压电与声光
ISSN：
1004-2474
年份：
1996
页码：
67-69
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