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廉鹏 (廉鹏.) | 马骁宇 (马骁宇.) | 张广泽 (张广泽.) | 陈良惠 (陈良惠.)

收录:

PKU CSCD

摘要:

采用测量反射谱方法确定了低压金属有机化合物气相外延生长的与 Ga As衬底匹配 (Alx Ga1 - x) 0 .5 1 In0 .49P外延材料的折射率 .实验中测量的反射谱波长范围为 0 .5— 2 .5 μm.在拟合实验数据过程中采用了单振子模型 .折射率数据用于分析应变量子阱 Ga In P/ Al Ga In P可见光激光二极管波导 ,计算出的器件远场图与实验数据吻合很好 .

关键词:

AlGaInP 折射率 测量 金属有机化合物气相外延

作者机构:

  • [ 1 ] 北京工业大学电子工程学系 北京100022
  • [ 2 ] 中国科学院半导体研究所 北京100083

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来源 :

半导体学报

年份: 2001

期: 04

页码: 398-401

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