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[期刊论文]
沉积温度对BC_2N薄膜的生长和附着性的影响
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应用热丝辅助射频等离子体化学气相沉积法在硅、金刚石衬底上合成了 BC2 N薄膜 .X-射线衍射、红外谱分析表明较高的温度有利于 BC2 N化合物的成核和生长 .高温制备的薄膜的化学组分主要为 BC2 N,B,C和 N原子间互相结合成键 ,但与硅衬底的附着力很差 .选择热膨胀系数与硅接近的金刚石作为过渡层沉积 BC2 N多层膜时 ,逐层提高生长温度 ,不仅提高了薄膜中 BC2 N的含量 ,而且提高了薄膜与衬底的粘附力
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来源 ：
兰州大学学报
年份： 2001
期： 05
页码： 23-29
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