高级检索
检索提示：高级检索多个条件检索时是按照顺序运算的：如 A或B与C 即:(A或B)与C
[期刊论文]
沉积温度对BC_2N薄膜的生长和附着性的影响
作者：
摘要：
应用热丝辅助射频等离子体化学气相沉积法在硅、金刚石衬底上合成了 BC2 N薄膜 .X-射线衍射、红外谱分析表明较高的温度有利于 BC2 N化合物的成核和生长 .高温制备的薄膜的化学组分主要为 BC2 N,B,C和 N原子间互相结合成键 ,但与硅衬底的附着力很差 .选择热膨胀系数与硅接近的金刚石作为过渡层沉积 BC2 N多层膜时 ,逐层提高生长温度 ,不仅提高了薄膜中 BC2 N的含量 ,而且提高了薄膜与衬底的粘附力
关键词：
作者机构：
通讯作者信息：
电子邮件地址：
相关关键词：
相关文章：
2001，兰州大学学报(自然科学版)
2001，物理学报
2001，ACTA PHYSICA SINICA
2005，国际材料科学与工程学术研讨会
来源 ：
兰州大学学报
年份： 2001
期： 05
页码： 23-29
被引次数：
WoS核心集被引频次： 0
SCOPUS被引频次：
ESI高被引论文在榜： 0 展开所有
万方被引频次：
中文被引频次：
近30日浏览量： 1
归属院系：
理学部 物理与光电学院
全文获取
外部链接：
