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HFCVD法沉积金刚石薄膜中热丝优化方法(英文)
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本文探讨了在HFCVD(hotfilamentchemicalvapordeposition)沉积金刚石薄膜中热丝数量、位置等几何参数对温度场和辐射场的影响。利用系统热传递模型和计算机辅助的数值解方法得到了该方法沉积大面积金刚石薄膜中衬底表面温度分布和热辐射能量密度分布。发现金刚石薄膜的均匀性受热辐射能量密度分布影响较大。进一步给出了沉积面积为 10 0mm× 10 0mm的金刚石薄膜的最佳参数。
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2000，人工晶体学报
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来源 ：
人工晶体学报
年份： 2000
期： 03
页码： 269-274
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