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[会议论文]
基于激光三角法对透明平板厚度测量光线补偿的研究及应用
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提出了一种基于激光三角法光线折射补偿对透明平板厚度测量的方法，设计了基于单激光位移传感器的透明平板厚度测量装置，并应用于准分子激光投影光刻加工透明材料时的像面校准。首先构建了基于激光三角法测量情形下的偏折光线和透明平板位置之间的关系，分析了散射光斑因折射发生的位置偏移量与平板厚度之间的计算关系，以及透明平板与散射基面的间距和散射基面位置的变化对测量结果所引起的变化规律。
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年份： 2015
页码： 118-118
语种： 中文
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材料与制造学部 激光工程研究院
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