本文围绕飞秒激光诱导表面微纳米结构的制备，以半导体材料和金属材料为主要研究对象。在机理方面，研究不同波长飞秒激光与固体材料表面的超快相互作用诱导的极端非线性效应及其与表面微纳米结构几何之间的依赖规律，探索相应的理论机制，研究飞秒激光的激光参数与曝光方式对表面微纳结构形成的影响规律，探索表面微纳米拓扑结构的可控制备机理；在应用技术方面，瞄准工程应用对材料表面特殊性能及其制造产业的需要，探索研究大面积具有良好持久性的表面微纳米结构的制备及应用特性，以期其在航空、电子、材料等工程制备领域具有重要的应用前景。