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[会议论文]
不同退火温度下氧化锌薄膜光学性能的研究
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Author：
Abstract：
采用磁控溅射法在石英衬底上制备出结晶性良好的氧化锌薄膜,并在氧气气氛中不同的温度(100-800℃)下进行退火处理.然后利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、椭偏仪对其结晶性能和光学性能进行了表征,探讨了退火温度对薄膜光学性能的影响,并分析其原因。
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Translated Abstract
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Conference Name
2014`全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会暨第七届中国微纳电子技术交流与学术研讨会
Organizers
中国半导体行业协会
Place
太原
Date
2014-08-04
Sponsor
Classification
Type
Project Name
Project No.
Access Number
WF:confartical8415703
Language
Chinese
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Related Keywords：
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2015，微纳电子技术
2013，半导体光电
2006，光电子·激光
Source ：
Year： 2014
Page： 65-68
Language： Chinese
Cited Count：
WoS CC Cited Count： 0
SCOPUS Cited Count：
ESI Highly Cited Papers on the List： 0 Unfold All
WanFang Cited Count： -1
Chinese Cited Count：
30 Days PV： 2
Affiliated Colleges：
理学部
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