摘要：
用共溅射的方法在镀钼钠钙玻璃上制备铜锌锡三元金属预制层,采用快速升温热处理退火,分别在200℃,250℃,300℃,350℃,400℃,450℃,500℃,550℃,600℃硫化,得到的薄膜分别采用XRD,Raman,SEM物相和形貌的表征,确定了在不同温度下退火所得到的相组成.结果表明,硫化退火过程中,主要形成的二元相有Cu2S、ZnS、SnS,它们的形成温度在250-300℃.三元相Cu2SnS3在300-350℃形成.超过350℃时,小晶粒的CZTS开始形成,温度继续升高,CZTS晶粒逐渐长大,杂相减少,当温度达到500℃时,表面形成结晶性好,晶粒尺寸大,无杂相的CZTS薄膜.
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