光致衰退效应是制约非晶硅薄膜电池发展的一个重要因素.在非晶硅/微晶硅叠层电池中引入中间层结构可以对太阳光进行选择性分配,反射部分短波段的光,增加了非晶硅顶电池的光吸收从而减少顶电池的厚度,有效地提高了叠层电池的稳定效率.本文系统地研究了沉积功率、氢气稀释比H2/SiH4、CO2/SiH4等沉积参数对SiOx薄膜光电性能(晶化率、折射率、带隙、电导率等)的影响.经过工艺优化,获得了折射率为2.2、晶化率约为29％、光学带隙E04为2.38eV的n型nc-SiOx薄膜.并在0.79m2的TCO玻璃衬底上制备了具有优化的SiOx中间层非晶硅/微晶硅叠层电池,其光伏组件全面积初始转换效率达到12.8％.经过1000h光照后,稳定转换效率为11.1％.