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武伟 (武伟.) | 秦飞 (秦飞.) (学者:秦飞) | 李玮 (李玮.)

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TSV 刻蚀 界面应力 粗糙度

作者机构:

  • [ 1 ] [武伟]北京工业大学机械工程与应用电子技术学院
  • [ 2 ] [秦飞]北京工业大学机械工程与应用电子技术学院
  • [ 3 ] [李玮]北京工业大学机械工程与应用电子技术学院

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年份: 2013

页码: 131-131

语种: 中文

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