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基于LTPS制程工艺的高应变点基板玻璃研究
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本文高应变点基板玻璃的主要性能及其测试方法,通过成分设计,研究了Y_2O_3在无碱硼硅玻璃体系中材料性能的影响,CaO替代SrO对材料物理性能和工艺性能的影响规律。获得了膨胀系数在(29~38)×10~(-7)/℃之间,应变点温度大于710℃,密度保持在(2.41~2.46)g/cm~3之间,显微维氏硬度大于640kgf/mm~2基板玻璃组成范围。
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2015-10
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CNKI:EUGQ201510006009
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来源 ：
年份： 2015
期： 总第47期
语种： 中文
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