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邵瑞文 (邵瑞文.) | 郑坤 (郑坤.) (学者:郑坤) | 张斌 (张斌.) | 张滔 (张滔.) | 邓青松 (邓青松.) | 姜颖 (姜颖.) | 韩晓东 (韩晓东.) (学者:韩晓东) | 张泽 (张泽.)

摘要:

相变存储器是利用相变材料(如Ge2Sb2Te5)在晶态与非晶态时差距明显的电阻值实现数据存储,并利用两相之间迅速可逆的相变过程来实现"0""1"转变.尽管人们对于相变过程进行了大量研究,至今为止,对于相变材料的相变机制仍然存在争议并且需要更深入的理解.然而由于在应用中相变材料处于器件内部,在实验上实现电激发下材料的结构变化的观察是非常苦难的.利用JEOL 2010F透射电镜和Nanofactory的电学性能测试样品杆,作者对非晶态的Ge2Sb2Te5薄膜施加一个外加电场,并在施加电场同时实现对其原子机制的观察和电学性能变化的测量.

关键词:

原位透射电镜 晶化过程 相变存储材料 非晶态锗锑碲

作者机构:

  • [ 1 ] [张泽]北京工业大学固体微结构与性能研究所
  • [ 2 ] [邵瑞文]北京工业大学固体微结构与性能研究所
  • [ 3 ] [郑坤]北京工业大学固体微结构与性能研究所
  • [ 4 ] [张斌]北京工业大学固体微结构与性能研究所
  • [ 5 ] [张滔]北京工业大学固体微结构与性能研究所
  • [ 6 ] [邓青松]北京工业大学固体微结构与性能研究所
  • [ 7 ] [韩晓东]北京工业大学固体微结构与性能研究所
  • [ 8 ] [姜颖]浙江大学电子显微镜中心

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年份: 2013

页码: 10-11

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