银纳米粒子具有独特的光、电和催化性质,使其在材料科学、生物物理、分子电子学以及基于表面增强效应的荧光工程学领域具有极其广泛的应用前景。本文采用射频磁控溅射技术,在石英和硅衬底上制备一系列银纳米颗粒薄膜。通过原子力显微镜(AFM)对银纳米粒子的表面形貌、粒径大小进行表征分析,并通过紫外-分光光度计对其表面等离子共振特性进行研究。结果表明溅射功率为60W时,可以有效提高纳米颗粒薄膜均匀性与颗粒性,优化表面等离子体增强特性;银纳米颗粒粒径随溅射时间延长而增大,表面等离子共振峰逐渐红移,因此可以通过改变溅射时间实现表面等离子体共振峰位的有效调节。