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[会议论文]
氢化非晶硅(a-Si:H)薄膜的制备及微结构研究
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＜正＞氢化非晶硅(a-Si:H)薄膜是一种优异的光电功能材料,在太阳能电池、薄膜晶体管和大面积液晶显示等高技术领域起着十分重要的作用。我们在其他条件一定的情况下改变衬底温度,以制备高质量的氢化非晶硅薄膜,薄膜利用红外吸收光谱和喇
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来源 ：
年份： 2011
语种： 中文
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