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适用于微流控芯片的几种典型微结构准分子激光加工
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随着微细加工技术的不断发展,微流控芯片制造技术的得到了长足的发展。本文介绍了微流控芯片对加工制造技术的要求,以及准分子激光加工技术作为微流控芯片加工制造方法之一,在微流控芯片加工方面的优势,并结合微通道、微孔、微透镜和微喷嘴几种典型的用于微流控芯片的微结构,综述了准分子激光在加工制造微流控芯片方面的应用。
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年份： 2011
语种： 中文
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