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作者:

刘本东 (刘本东.) | 焦兵锋 (焦兵锋.) | 李德胜 (李德胜.) (学者:李德胜)

摘要:

提出一种基于感应加热原理的微型加热器,设计了针对微流体的微加热器的结构和关键参数,该结构的微加热器,具有加工难度低,便于密封等优点。利用ANSYS10.0/Mutiphysics对微感应加热器进行电磁场和温度场仿真分析,分析表明微感应加热器加热均匀,温升速度较快,加热效果较好。

关键词:

MEMS 微加热器 感应加热

作者机构:

  • [ 1 ] 北京工业大学机电学院

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来源 :

年份: 2010

语种: 中文

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